單晶爐配件之石墨熱場(chǎng)的選購(gòu)
單晶爐配件之石墨熱場(chǎng)的選購(gòu)
東莞市捷誠(chéng)石墨制品有限公司專業(yè)生產(chǎn)單晶、多晶石墨熱場(chǎng)配件,石墨加熱器、石墨保溫桶、三瓣鍋、石墨坩堝、石墨托、石墨斧等各種石墨制品。 直拉單晶制造法(Czochralski,CZ法)
直拉單晶制造法(Czochralski,CZ法)是把原料多硅晶塊放入石英坩堝中,在單晶爐中加熱融化 ,再將一根直徑只有12mm的棒狀晶種(稱籽晶)浸入融液中。在合適的溫度下,融液中的硅原子會(huì)順著晶種的硅原子排列結(jié)構(gòu)在固液交界面上形成規(guī)則的結(jié)晶,成為單晶體。把晶種慢慢旋轉(zhuǎn)并向上提升,融液中的硅原子會(huì)在前面形成的單晶體上繼續(xù)結(jié)晶,并延續(xù)其規(guī)則的原子排列結(jié)構(gòu)。若整個(gè)結(jié)晶環(huán)境穩(wěn)定,就可以周而復(fù)始地形成結(jié)晶,最后形成一根圓柱形的原子排列整齊的硅單晶晶體,即硅單晶錠。當(dāng)結(jié)晶加快時(shí),晶體直徑會(huì)變粗,提高升速可以使直徑變細(xì),增加溫度能抑制結(jié)晶速度。反之,若結(jié)晶變慢,直徑變細(xì),則通過降低拉速和降溫去控制。拉晶開始,先引出一定長(zhǎng)度,直徑為3~5mm的細(xì)頸,以消除結(jié)晶位錯(cuò),這個(gè)過程叫做引晶。然后放大單晶體直徑至工藝要求,進(jìn)入等徑階段,直至大部分硅融液都結(jié)晶成單晶錠,只剩下少量剩料。停爐后取出單晶棒,一個(gè)工藝過程結(jié)束。
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一、單晶硅石墨熱場(chǎng),是一個(gè)及物理.化學(xué).幾何綜合理論為一體,專門研究人員經(jīng)過多年反復(fù)考證。多年經(jīng)驗(yàn)總結(jié)制定。
二、熱場(chǎng)采用細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護(hù)盤.保溫罩.上下蓋。采用進(jìn)口等靜壓石墨做加熱器.坩堝.導(dǎo)流筒.托桿.鍋托等,保證了石墨坩堝的強(qiáng)度.及純度。
三、熱場(chǎng)是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場(chǎng)的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質(zhì)量好壞,其材質(zhì)好壞直接影響熱場(chǎng)壽命。本公司與中國(guó)最早生產(chǎn)單晶硅企業(yè)合作十幾年。合作結(jié)合國(guó)內(nèi)外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨熱場(chǎng),成立了自己的石墨熱場(chǎng)本公司的石墨熱場(chǎng)經(jīng)過晶龍集團(tuán).常州天合.河北逐鹿單晶硅生產(chǎn)基地。長(zhǎng)期應(yīng)用,對(duì)所用石墨材料及整個(gè)熱場(chǎng)壽命加以肯定。為以后生產(chǎn)特制定如下標(biāo)準(zhǔn)。