如何對石墨舟進行清洗?
石墨舟就是石墨模具(石墨舟就是石墨坩鍋,用來澆鑄金條、銀錠等)。石墨模具本身是一種載體,可以把我們需求定位或定型的原材料和零部件一同放于石墨模具中高溫燒結成型。石墨模具是選用人造石墨經(jīng)機械加工而成的。所以石墨模具有時被叫做石墨舟,有時也稱為石墨船的。
石墨舟的清洗過程如下:
1.一般石墨舟在工作 100 至 120 次后就應該對石墨舟進行清洗,石墨舟清洗次數(shù)到達后,硅片會發(fā)紅。 這是因為舟上的 SiN 會隨著工作次數(shù)的添加而添加,影響舟的正常運用。
2.在室溫條件下 (<40°C),將舟放入32升HF酸中,大約高過石墨舟1.5cm左右。濃度是 10%, 腐蝕時刻為 10-12小時。低濃度條件下,腐蝕槽會被產(chǎn)生的 SiN 顆粒污染,因而需求進行守時的過濾保護。 濃度高于 10%會對操作人員造成風險。其他部件應該被分隔放入腐蝕槽內并且不行互相觸摸,這樣 HF 酸就可以腐蝕到任何部位,這關于石墨銜接塊而言更為重要。
3.在 2 號純水槽內將其用純水漂洗3次,每次2-3小時。用 PH-試紙檢查活動的水是不是中性的(基本數(shù)值5-6弱酸,為正常),有必要確保蝕刻殘渣(SiF4)都已經(jīng)被洗掉,任何蝕刻殘渣被帶入爐管都或許引起沾污或許工藝問題。 可以在石墨上看到白色的一層就是殘渣,其他部件都有必要分隔放置這樣可以防止酸液殘留在其間。
4.用氮氣槍吹干,在 120-150℃條件下,將石墨舟烘干10-12小時。接著進行鍍舟工藝,花費3小時20分-4小時。鍍舟工藝與一般工藝不同,在鍍舟完畢后,先進行空鍍,空鍍后再進行插片運用。
5.酸洗排酸時,噴淋要翻開。水洗排水時,鼓泡要翻開,讓其活動。一般酸洗10-12小時可洗潔凈,如果沒洗潔凈可先測驗補酸4升,直到清洗潔凈停止。還是無法洗凈的話,需求嚴查清洗時刻是否符合規(guī)范。